廣州金程科學儀器公司供應的賽福CIF紫外臭氧清洗機(UVO), 是一種簡單，經濟，快速高效的材料表面清洗設備，能快速去除大多數無機基材(比 如石英，硅片，金，鎳，鋁，砷化鎵，氧化鋁等)上的有機污染物。紫外臭氧清洗機采用 長壽命UV 石英低壓汞蒸汽格柵燈，樣品臺高度可調，可選加熱控溫，以便達到最佳清洗效果。

紫外臭氧清洗機原理：

通過紫外燈發出適當強度的185nm 和 2 5 4nm 波長高能紫外線破壞有物分子(污染物)。185nm 波長紫外光的光能 量能將空氣中的氧氣(O2) 分解成臭氧(O3), 而 2 5 4nm 波長的紫外光的光能量能將O3 分解成 O2 和原子氧(O),   254  nm 紫外線同時激發表面的有機物分子，提高其敏感性，可以被臭氧分子團破壞。在連續進行的光敏氧化反應中，生成的 活性原子氧(O) 與活化了的有機物(即碳氫化合物)分子發生氧化反應，生成揮發性氣體(如CO2,CO,H2O,NO      等 ) 逸 出材料表面，從而清除粘附在材料表面上的碳和有機污染物，達到清洗的目的。

紫外臭氧清洗機應用領域：

◆石英/玻璃制品的表面清洗：液晶面板，等離子電視屏幕，彩色過濾片，光罩，棱鏡，透鏡，反射鏡，平板電視等。

◆微電子產品的表面清洗： 微型馬達軸，磁頭驅動架，光盤，光電器件，手機攝像頭，微型喇叭/受話器震膜，半導體硅片，掩膜版。

◆ 精密集成電路的表面清洗： 液晶顯示器ITO,精密電路板，軟性電路板接頭，BGA 基板的清洗，COG 的清洗，COF(ILB) 接合面的清洗，薄膜基板的清洗，金屬基板的清洗，BGA 基板與粘結墊的清洗。

◆ 在膠粘接或是印刷之前，對高分子聚合制品的表面改性： 橡膠粘接，塑料汽車部件，透鏡保護膜，塑料薄膜，樹脂成型 空氣袋，IC包裝，注射針接合部分的表面性，介入導管的表面改型等。

◆ 科研過程的表面清洗及處理： 半導體，生物芯片，納米材料，聚合物，光化學等。

紫外臭氧清洗機特點：

◆UVO  基礎型系列采用可編程數字控制器，設置操作簡單方便，四鍵操作控制。UVOP、UVOT   系列采用5寸彩色觸摸屏

中英文互動操作界面，設置顯示計時時間及加熱溫度。

◆ 自動補償功能，自動恒定光強光密度，不會因為低壓汞燈老化光強衰減影響清洗效果。

◆ 數字倒計時顯示清洗時間，1-999分鐘之間可自行設置清洗時間。

◆ 任何時間可以手動中斷處理過程。

◆ 自動記錄之前清洗參數設置。

◆ 樣品臺可控溫(可選),控溫范圍RT-200℃, 控溫精度0.1℃。

◆ 頂置下壓式鉸鏈開關蓋方式，操作簡單方便。

◆ 上置式樣品臺設計，360度自由放置樣品，操作方便。

◆ 樣品臺高度可調，通過調節燈與樣品之間的間距，可以合理定位樣品高度和位置，并可鎖定。 ◆UV 石英低壓汞蒸汽格柵燈，燈管壽命大約為8000 小時。

◆ 高強度UV 燈源，波長185nm 和 2 5 4nm。

◆ 可累計計時 UV 格柵燈使用時長，更換提示。

◆UV 反射罩(長X 寬 ) 比UV 格柵燈大25mm。

◆ 雙重安全保護，帶有安全鎖，當清洗腔打開時，系統自動關掉 UV 燈，并有燈光通斷提示。

◆ 帶進&出氣口雙氣路設計。

◆ 可接入氧氣或者臭氧，增加臭氧產量。

◆UVO5  可選外置臭氧中和器， UVO9、UVO13    系列可選外置或者內置臭氧中和器，用于臭氧清除。

◆ 可根據客戶要求定制鋁或石英材料真空反應腔。

技術參數：

注： UVO 型基礎型樣品臺不帶加熱功能，樣品臺高度可調；UVOP  可選配樣品臺加熱功能，樣品臺高度可調；UVOT  標配樣品臺加熱功能，樣品臺高度可調。可選臭氧中和裝置。

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